①閥門的密封性能要好，不但閥板封閉處漏氣速率要小，而且閥體的漏氣率要??；
②閥門密封部件耐磨性要好，特別是閥座與閥板密封部件要能反復(fù)使用，壽命長；
③閥門的通導(dǎo)能力要大；
④閥門材料應(yīng)具有低飽和蒸汽壓、高耐蝕能力和高化學(xué)穩(wěn)定性；
⑤超高真空閥門應(yīng)耐烘烤，烘烤溫度一般不低于150℃，450℃；
⑥閥門結(jié)構(gòu)要簡單，造型美觀大方，開關(guān)輕便、靈活，開關(guān)狀態(tài)應(yīng)有標識，大型閥門應(yīng)有起吊裝置，操作方便，維修容易；
⑦閥門零部件加工工藝性要好，表面處理工藝，閥門連接法蘭應(yīng)符合真空法蘭國家標準要求。