更新時間:2023-04-25
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微波和真空器件多,特別是高壓陶瓷件多,運(yùn)行時間長,有時發(fā)生陶瓷裂縫導(dǎo)致真空泄露。如果區(qū)段閥不及時關(guān)閉,能在幾分鐘內(nèi)使整個加速器暴露大氣,導(dǎo)致電子槍陰柵組件,速調(diào)管陶瓷窗,離子泵的損壞。從發(fā)現(xiàn)問題到現(xiàn)場手動關(guān)閉閥門,時間不容許,為使發(fā)生真空泄漏時,損失減到小,需要一種可監(jiān)控各區(qū)段真空,和及時自動關(guān)閉區(qū)段閥的控制系統(tǒng)。由于閥門動關(guān)閉,可以保護(hù)其它區(qū)段的真空。維修人員可以有的放矢地針對某一破壞的區(qū)段進(jìn)行檢漏和維修,使設(shè)備損失和真空恢復(fù)時間減到小。